این قسم کے ایم 2 مونوکسٹلائن سلیکن ویفر میں گول کونے کے ساتھ ایک ارد مربع 156.75 × 156.75 ملی میٹر ڈیزائن ہے ، معیاری ماڈیول کی ترتیب اور اصلاح شدہ روشنی کیپچر کے ساتھ مطابقت میں توازن برقرار ہے۔ سی زیڈ کے طریقہ کار اور فاسفورس ڈوپنگ کا استعمال کرتے ہوئے تیار کردہ ، یہ اعلی مادی طہارت پیش کرتا ہے ،<100>واقفیت ، اور کم سندچیوتی کثافت (500 سینٹی میٹر سے کم یا اس کے برابر)۔ این قسم کی چالکتا ، وسیع مزاحمتی حد (0.2–12 ω · سینٹی میٹر) ، اور اعلی اقلیتی کیریئر لائف ٹائم (1000 µs سے زیادہ یا اس کے برابر) کے ساتھ ، یہ اعلی کارکردگی والے سیل ٹکنالوجیوں جیسے ٹاپکون اور ایچ جے ٹی کی حمایت کرتا ہے۔ ایم 2 ویفر مرکزی دھارے میں پی وی ایپلی کیشنز میں مستحکم کارکردگی کے لئے ایک ثابت اور قابل اعتماد شکل بنی ہوئی ہے۔
1. مادی خصوصیات
|
جائیداد |
تفصیلات |
معائنہ کا طریقہ |
|
نمو کا طریقہ |
سی زیڈ |
|
|
کرسٹاللٹی |
monocrystalline |
ترجیحی اٹچ تکنیک(ASTM F47-88) |
|
چالکتا کی قسم |
این ٹائپ |
نیپسن EC-80TPN |
|
ڈوپینٹ |
فاسفورس |
- |
|
آکسیجن حراستی [OI] |
سے کم یا اس کے برابر8e +17 at/cm3 |
ftir (ASTM F121-83) |
|
کاربن حراستی [CS] |
سے کم یا اس کے برابر5e +16 at/cm3 |
ftir (ASTM F123-91) |
|
اٹچ پٹ کثافت (سندچیوتی کثافت) |
سے کم یا اس کے برابر500 سینٹی میٹر-2 |
ترجیحی اٹچ تکنیک(ASTM F47-88) |
|
سطح کی سمت |
<100>± 3 ڈگری |
ایکس رے پھیلاؤ کا طریقہ (ASTM F26-1987) |
|
سیوڈو مربع اطراف کا رخ |
<010>,<001>± 3 ڈگری |
ایکس رے پھیلاؤ کا طریقہ (ASTM F26-1987) |
2. الیکٹرک پراپرٹیز
|
جائیداد |
تفصیلات |
معائنہ کا طریقہ |
|
مزاحمتی صلاحیت |
0.2-2.0 ω.cm 0.5-3.5 ω.cm
1.0-7.0 ω.cm
1.5-12 ω.cm
|
4-پروب مزاحمتی
پیمائش
|
|
ایم سی ایل ٹی (اقلیتی کیریئر لائف ٹائم) |
1000 µs سے زیادہ یا اس کے برابر (مزاحمیت ＞ 1.0 ω.cm) 500 µs سے زیادہ یا اس کے برابر (مزاحمیت ＜ 1.0 ω.cm
|
سنٹن بی سی ٹی -400 عارضی
(انجیکشن لیول کے ساتھ: 5E14 سینٹی میٹر-3)
|
3. جیومیٹری
|
جائیداد |
تفصیلات |
معائنہ کا طریقہ |
|
جیومیٹری |
ارد اسکوائر
|
ورنیئر کیلیپر
|
|
قطر
|
210 ± 0.25 ملی میٹر
|
ورنیئر کیلیپر |
|
فلیٹ سے فلیٹ
|
156.75 ± 0.25 ملی میٹر
|
ورنیئر کیلیپر
|
|
کونے کی لمبائی
|
8.5 ± 0.5 ملی میٹر
|
چوڑا نشست مربع/حکمران
|
|
کونیی
|
90 ڈگری ± 0.2 ڈگری |
زاویہ حکمران
|
|
کونے کی شکل
|
گول شکل
|
بصری معائنہ
|
|
کھڑا
|
0.8 ملی میٹر سے کم یا اس کے برابر
|
|
|
ٹی ٹی وی (کل موٹائی کی مختلف حالت) |
سے کم یا اس کے برابر 27 µm |
وافر معائنہ نظام |
4.سطح کی خصوصیات
|
جائیداد |
تفصیلات |
معائنہ کا طریقہ |
|
سطح کی کوالٹ
|
داغ ، تیل ، سکریچ ، شگاف ، گڑھا ، ٹکرانا ،
پنہول اور جڑواں عیب نہیں ہیں
اجازت دی گئی
|
بصری معائنہ
|
|
چپ
|
سطح کی چپ کی اجازت نہیں ہے۔
ARRIS: چپس متضاد ہیں:
ارس پر 10 سے بھی کم ، DIA 0.3 ملی میٹر سے کم یا اس کے برابر ؛
|
حکمران
|
|
سطح روفن
|
ہوائی جہاز کی سطح: RA سے کم یا اس کے برابر 0.6um ؛
کیمبرڈ سطح: RA 1.0UM سے کم یا اس کے برابر
|
سطح کی کھردری میٹر
|
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: چین ، چین ، سپلائرز ، مینوفیکچررز ، فیکٹری ، چین میں بنایا
